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ALCATEL分子泵的安裝環境你了解幾個因素

更新時間:2020-08-24      點擊次數:1772
   ALCATEL分子泵是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設備,廣泛應用于IC生產制造的各個工藝。分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同,利用了動量傳遞原理,使分子定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。在分子流區域內,氣體分子與高速轉到的葉片表面碰撞,動量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面的運動方向上,產生定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。正確的使用和及時的保養,對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。確認安裝環境必須滿足如下條件: 
  1) 泵體表面徑向和軸向磁場強度均不得大于3mT(30Gs); 
  2) 環境放射性強度<105rad; 
  3) 環境溫度為5~40℃; 
  4) 空氣相對濕度:≤85%; 
  5) 電壓:220±22V,頻率:50±1Hz; 
  6) 海拔:≤3000米。 
  安裝前應檢查分子泵運輸中是否被損壞:打開泵高真空端法蘭蓋板,戴好手套,撥動渦輪轉子,應轉動靈活,無異?,F象。若存在異?,F象,應及時通知我公司,不得自行處理,否則由此帶來損失我公司概不負責。    
  不允許將分子泵長期置于大氣狀態下存放,在打開進氣口和排氣口盲板時,應注意真空衛生要求,嚴禁雜物、灰塵等落入泵內。安裝環境應符合技術要求和真空衛生要求。
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